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エレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス、チップ産業のクリーンルームプロジェクト

電子工学、マイクロエレクトロニクス、チップス産業クリーンルームプロジェクト

マイクロエレクトロニクス、チップス産業クリーンルーム4
マイクロエレクトロニクス、チップス産業クリーンルーム6

クリーンルームワークショップの装飾工学設計の主要なステップとして、プロセス設計は、電子製品生産の要件を満たすことを前提として、クリーンルームワークショップの装飾工学生産設備レイアウトを合理的に実行し、技術を合理的に決定する必要がありますさまざまな公共電力設備のパラメータ、および実行低エネルギー消費、低運用コスト、高生産効率、および低建設投資を達成するため。同時に、電子製品クリーンルームワークショップの装飾工学の生産要件と製品を満たすために、人のルート、材料の輸送および保管施設の流れを合理的に構成および調整することも必要です。製造プロセスの要件;さらに、経済的、実用的、安全で信頼できる条件下での生産効率を改善するために、生産設備と材料輸送の自動化レベルを可能な限り改善する必要があります。

生産設備の平面レイアウトも、電子クリーンルームワークショップの装飾エンジニアリングプロセス設計の重要な部分です。電子無塵ワークショップは、一般的にトンネルタイプ(またはハーバータイプ)、オープンタイプ、島型レイアウトなどがあります。調査によると、集積回路チップ製造のためのクリーンルームワークショップの改修プロジェクトは、一般にトンネルタイプとオープンタイプを採用しています。なかでもトンネル式クリーンルームは主に5インチと6インチのチップ製造工場で使用されており、生産設備はクリーン生産エリアと設備にまたがっています。メンテナンスエリアとクリーン生産エリアは清浄度に厳しい要件がありますが、機器メンテナンスエリアの空気清浄度レベルは比較的低くなっています。

マイクロエレクトロニクス、チップス産業クリーンルーム1

マイクロエレクトロニクス精製ワークショップ

光マイクロエレクトロニクスクリーンルームまたは光マイクロエレクトロニクスクリーンルームとしても知られる光マイクロエレクトロニクス精製ワークショップは、現在、半導体、精密電子部品、液晶製造、光学機器製造、回路基板製造、携帯電話、コンピューターなどの不可欠かつ重要な部分です。産業。施設。近年、技術の革新的な発展により、製品の高精度・小型化への要求が高まっています。たとえば、超大型集積回路の研究と製造は、世界中の国々が科学技術開発において非常に重要視しているプロジェクトになっています。そして、当社の設計コンセプトと建設技術は、業界をリードする立場にあります。

光学およびマイクロエレクトロニクス精製エンジニアリングソリューション:

浄化プロジェクトの設計プロセスでは、光学およびマイクロエレクトロニクス産業の浄化工学設計スキームの分析と理解を強化する必要があります。プロジェクトが新しいプロジェクトであるか古い工場の改修プロジェクトであるかに応じて、特定の生産プロセス、生産プロセス、およびその他の要件と組み合わせて、ニーズを決定します。清潔さ、温度、湿度。次に、プロジェクトの特定の状況に応じて、同時にメーカーの経済的負担力を考慮して、採用する精製スキームを決定するためにさまざまな要因を考慮する必要があります。経済的、省エネ、実用的なソリューション。

 

光マイクロエレクトロニクス精製エンジニアリングには、一般的に次のものが含まれます。

1.クリーンな生産エリア

2.補助室(人員浄化室、資材浄化室、居間等を含む)のエアシャワー室を清掃する

3.管理エリア(オフィス、職務、管理、休憩などを含む)

4.設備エリア(浄化空調システムアプリケーション、電気室、高純度水および高純度ガス室、冷暖房設備室を含む)

 

光マイクロエレクトロニクス精製工学精製原理:

気流一次エアフィルターの精製空調中効率エアフィルター精製ファンエアサプライパイプライン高効率エアフィルター浄化空気出口部屋に吹き込むほこり、バクテリア、その他の粒子を取りますリターンエアブラインド一次効率空気ろ過上記のプロセスを繰り返して、精製の目的を達成します。

 

光マイクロエレクトロニクス精製工学精製パラメータ

換気回数:100000レベル15回;10000レベル20回;100030回。圧力差:隣接する部屋へのメインワークショップ5Pa

平均風速:10グレード、100グレード0.3-0.5m / s;温度>16°冬のC;<26°夏のC;変動±2°C.

温度は45-65%です。GMPパウダーワークショップの湿度は約50%です。電子ワークショップの湿度は、静電気を避けるために少し高くなっています。

ノイズ65dB(A);新鮮な空気の補充量は、総空気供給量の10%〜30%です。イルミネーション300LX。

マイクロエレクトロニクス、チップス産業クリーンルーム7
マイクロエレクトロニクス、チップス産業クリーンルーム2